单晶炉

单晶炉全名全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号的命名方式有两种——投料量和炉室直径，比如 120、150 等型号是由投料量决定， 85 炉则是指主炉筒的直径大小。单晶炉主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。单晶炉在惰性气体（氩气）环境中，用石墨电阻加热器将多晶硅材料溶化，在特定温度区域 内采用软籽晶袭轴提升旋转机构，对原籽晶进行匀速 旋转提升，于此同时坩埚随着单晶百的生长匀速旋转提升，实现生长成无位错单晶硅棒。